Представляємо автоматичний атомно-силовий мікроскоп, як ніколи раніше
Автоматична система атомно-силового мікроскопа NX-3DM, запущена компанією Park Systems, спеціально розроблена для зображення контуру виступу, бокової стінки з високою роздільною здатністю та вимірювання критичного кута. Завдяки унікальній системі незалежного сканування по осі XY і осі Z і сканеру осі Z, що нахиляється, NX-3DM успішно долає проблеми, пов’язані зі звичайними та розширеними головками в точному аналізі бічних стінок. У режимі True Non-Contact™ NX-3DM забезпечує неруйнівне вимірювання м’яких фоторезистів із наконечниками з високим співвідношенням сторін.
безпрецедентна точність
У міру того, як напівпровідники стають меншими, конструкції тепер повинні бути на нанорозмірі, але традиційні засоби вимірювання не можуть забезпечити точність, необхідну для нанорозмірного проектування та виробництва. Зіткнувшись із цією галузевою проблемою вимірювання, Park AFM зробила багато технологічних проривів, таких як усунення перехресних перешкод, що дозволяє отримати зображення без артефактів і неруйнівного зображення; новий 3D AFM робить можливим зображення боковини та виточок з високою роздільною здатністю.
безпрецедентна пропускна здатність
Через обмеження низької пропускної здатності нанорозмірний дизайн не можна використовувати для контролю якості виробництва, але атомно-силова мікроскопія робить це можливим. З високопродуктивним рішенням, випущеним Park Systems, атомно-силова мікроскопія також увійшла в сферу автоматизованого онлайн-виробництва. Це включає в себе інноваційну функцію заміни магнітного зонда з 99-відсотковим показником успішності, вищим, ніж звичайна вакуумна технологія. Крім того, оптимізація процесів і пропускної здатності вимагає активної співпраці клієнтів для надання повних необроблених даних.
Безпрецедентна економічна ефективність
Точність і висока пропускна здатність нанорозмірних вимірювань повинні поєднуватися з економічно ефективними рішеннями для масштабування від досліджень до реальних виробничих застосувань. Зіткнувшись із цією економічною проблемою, Park Systems запропонувала промислове рішення для атомно-силового мікроскопа, щоб зробити автоматизовані вимірювання швидшими та ефективнішими, а також зробити зонди довговічнішими! Ми відмовилися від повільного та дорогого скануючого електронного мікроскопа та перейшли на ефективний, автоматизований та доступний тривимірний атомно-силовий мікроскоп, щоб ще більше знизити витрати на вимірювання онлайн-промислового виробництва. Сьогодні виробникам потрібна 3D-інформація, щоб охарактеризувати профілі траншей і варіації боковин, щоб точно знайти дефекти в нових конструкціях. Модульна платформа AFM забезпечує швидку заміну апаратного та програмного забезпечення, роблячи оновлення більш економічно ефективними та постійно оптимізуючи складні та вимогливі вимірювання контролю якості виробництва. Крім того, наші зонди AFM служать принаймні вдвічі довше, що ще більше знижує вартість володіння. Традиційні AFM використовують сканування постукуванням, що робить наконечник більш схильним до зношування, але наш режим True Non-Contact™ може ефективно захистити наконечник і подовжити його термін служби.
