Відмінність електронного мікроскопа від металургійного мікроскопа
Принцип роботи скануючого електронного мікроскопа
Скануючий електронний мікроскоп (SEM), скорочено SEM, є складною системою, яка конденсує електронно-оптичну технологію, вакуумну технологію, точну механіку та сучасну технологію комп’ютерного керування. РЕМ - це прискорений високовольтний ефект електронної гармати, випромінюваної електроном через багатоступінчасту електромагнітну лінзу, що зближується до невеликого пучка електронів. Сканування на поверхні зразка, збудження різноманітної інформації шляхом прийому цієї інформації, посилення та відображення зображення для аналізу поверхні зразка. Взаємодія падаючих електронів із зразком створює типи інформації, показані на малюнку 1. Двовимірний розподіл інтенсивності цієї інформації змінюється залежно від характеристик поверхні зразка (цими характеристиками є морфологія поверхні, склад, орієнтація кристала, електромагнітні властивості). , і т.д.), це різноманітні детектори для збору інформації в порядку, співвідношення інформації, перетвореної у відеосигнал, а потім переданої на одночасне сканування кінескопа та модуляцію його яскравості, ви можете отримати відповідь на поверхню карти сканування зразка. Якщо сигнал, отриманий детектором, оцифровується та перетворюється на цифровий сигнал, він може бути додатково оброблений та збережений комп’ютером. Скануючі електронні мікроскопи в основному призначені для спостереження за товстими блоковими зразками з великою різницею висоти та грубими нерівностями, і, отже, призначені для підкреслення ефекту глибини різкості, і зазвичай використовуються для аналізу тріщин, а також природних поверхонь, які не мають піддавалися штучному лікуванню.
Електронний мікроскоп і металургійний мікроскоп
По-перше, джерело світла різне: металургійний мікроскоп, який використовує видиме світло як джерело світла, скануючий електронний мікроскоп, який використовує електронний промінь як джерело світла.
По-друге, принцип інший: металургійний мікроскоп використовує принцип зображення геометричної оптики для зображення, скануючий електронний мікроскоп використовує високоенергетичне бомбардування електронного променя поверхні зразка, збудження різноманітних фізичних сигналів на поверхні зразка, а потім використання різних детекторів сигналів для прийому фізичних сигналів, перетворених на інформацію про зображення.
По-третє, роздільна здатність інша: у металургійному мікроскопі через інтерференцію та дифракцію світла роздільна здатність може бути обмежена лише 0.2-0.5um між ними. Скануючий електронний мікроскоп, оскільки використання електронного променя як джерела світла, роздільна здатність може досягати 1-3 нм, тому спостереження за тканинами металургійним мікроскопом належить до аналізу на мікронному рівні, спостереження за тканинами за скануючим електронним мікроскопом належить до нанометрового рівня. аналіз.
По-четверте, глибина різкості різна: глибина різкості загального металургійного мікроскопа становить 2-3um, тому до гладкості поверхні зразка пред’являються дуже високі вимоги, тому процес його відбору є відносно складним. У той час як скануючий електронний мікроскоп має велику глибину різкості, велике поле зору, зображення, багате у тривимірному сенсі, може безпосередньо спостерігати різні зразки з нерівною мікроструктурою поверхні.
