Які фактори впливають на роздільну здатність трансмісійної електронної мікроскопії?
A. Діаметр плями падаючого електронного пучка: це межа роздільної здатності скануючого електронного мікроскопа. Як правило, мінімальний діаметр плями пучка електронної гармати з гарячим катодом можна зменшити до 6 нм, а польова емісійна електронна гармата може зробити діаметр плями пучка меншим за 3 нм.
B. Ефект розширення падаючого електронного пучка в зразку: ступінь дифузії залежить від енергії падаючого пучка електронів і атомного номера зразка. Чим вища енергія падаючого пучка, тим менший атомний номер зразка, тим більший об’єм електронного пучка, і площа, де генерується сигнал, збільшується разом із дифузією електронного пучка, тим самим зменшуючи роздільну здатність.
C. Використаний метод візуалізації та сигнал модуляції: коли вторинний електрон використовується як сигнал модуляції, через його низьку енергію (менше 50 еВ) і коротку довжину вільного пробігу (приблизно 10-100 нм), лише поверхневий шар 50-100 нм. Вторинні електрони в глибинному діапазоні можуть виходити лише з поверхні зразка, і кількість розсіювання відбувається дуже обмежено, і в основному не розширюється вбік. Тому роздільна здатність вторинного електронного зображення приблизно дорівнює діаметру плями променя. Коли електрони, розсіяні назад, використовуються як сигнал модуляції, енергія електронів, розсіяних назад, відносно висока, а проникаюча здатність висока, тому вони можуть вийти з більш глибокої області зразка (приблизно 30 відсотків ефективної глибини). У цьому діапазоні глибин падаючі електрони мають досить широке поперечне розширення, тому роздільна здатність зображення розсіяних електронів нижча, ніж зображення вторинних електронів, зазвичай близько 500-2000 нм. Якщо інші режими роботи, такі як поглинання електронів, рентгенівське випромінювання, катодофлуоресценція, індукована променем провідність або потенціал, використовуються як сигнали модуляції, оскільки сигнали надходять від усієї області розсіювання електронного променя, роздільна здатність отриманих сканованих зображень є відносно низькою. , зазвичай на l 000 nm або вище l0000 nm.
