Принцип зображення трансмісійного електронного мікроскопа
Електронний промінь скануючого електронного мікроскопа не проходить через зразок, а максимально фокусується на невеликій ділянці зразка, а потім сканує зразок рядок за рядком. Падаючі електрони збуджують вторинні електрони на поверхні зразка. Мікроскоп спостерігає електрони, розсіяні з кожної точки. Сцинтиляційний кристал, розміщений біля зразка, приймає ці вторинні електрони та модулює інтенсивність електронного пучка кінескопа після підсилення, таким чином змінюючи яскравість флуоресцентного екрана кінескопа. Зображення є тривимірним зображенням, яке відображає структуру поверхні зразка. Відхиляюча котушка електронно-променевої трубки сканується синхронно з електронним променем на поверхні зразка, так що флуоресцентний екран електронно-променевої трубки відображає морфологічне зображення поверхні зразка, що схоже на робочий принцип промислового зразка. телевізори. Через те, що електрони в таких мікроскопах не повинні проходити через зразок, напруга, необхідна для прискорення електронів, не повинна бути дуже високою.
Роздільна здатність скануючого електронного мікроскопа в основному визначається діаметром електронного променя на поверхні зразка. Збільшення - це відношення амплітуди сканування на електронно-променевій трубці до амплітуди сканування на зразку, яке може безперервно змінюватися від десятків до сотень тисяч разів. Скануюча електронна мікроскопія не вимагає дуже тонких зразків; Зображення має сильне відчуття тривимірності; Він може аналізувати склад речовин, використовуючи таку інформацію, як вторинні електрони, поглинені електрони та рентгенівські промені, створені взаємодією між електронними променями та речовинами.
Виробництво скануючих електронних мікроскопів засноване на взаємодії між електронами та речовиною. Коли електронний промінь високої енергії бомбардує поверхню матеріалу, збуджена область вироблятиме вторинні електрони, електрони Оже, характеристичне рентгенівське випромінювання та рентгенівське випромінювання безперервного спектру, електрони, розсіяні назад, електрони, що пройшли, а також електромагнітне випромінювання у видимій області екрана. , ультрафіолетову та інфрачервону області. У той же час також можуть генеруватися електронно-діркові пари, коливання гратки (фонони) і електронні коливання (плазма).
