Скануюча електронна мікроскопія та металографічна мікроскопія «йдуть разом, але по-різному»
Скануючі електронні мікроскопи та металографічні мікроскопи є оптичними приладами. Багато людей люблять використовувати металографічний мікроскоп як скануючий електронний мікроскоп, але між ними є великі відмінності. Неправильне використання лише посилить навантаження на обладнання та прискорить використання металографічного мікроскопа.
1. По-перше, принципи відрізняються: металографічний мікроскоп використовує принцип геометричного оптичного зображення для створення зображень, тоді як скануючий електронний мікроскоп використовує різні фізичні сигнали, що збуджуються тонко сфокусованими електронними променями під час сканування поверхні зразка для модуляції зображення. Поверхня зразка бомбардується пучками електронів високої енергії, і на поверхні зразка збуджуються різні фізичні сигнали. Різні детектори сигналів використовуються для отримання фізичних сигналів і перетворення їх у інформацію про зображення.
2. По-друге, джерела світла різні: металографічний мікроскоп використовує видиме світло як джерело світла для зображення, тоді як скануючий електронний мікроскоп використовує електронні пучки як джерело світла для зображення.
3. Різна роздільна здатність: металургійні мікроскопи схильні до інтерференції та дифракції видимого світла, тому роздільна здатність може бути обмежена лише 0.2-0.5um. Оскільки скануючий електронний мікроскоп використовує електронні пучки як джерело світла, його роздільна здатність може досягати 1-3 нм. Таким чином, спостереження за тканиною під металографічним мікроскопом є аналізом на мікронному рівні, тоді як спостереження за тканиною під скануючим електронним мікроскопом є аналізом на нанорівні. Інформація про вибірку, отримана скануючим електронним мікроскопом, багатша. .
4. Різні глибини різкості: як правило, глибина різкості металографічного мікроскопа становить 2-3 мкм, тому він має надзвичайно високі вимоги до гладкості поверхні зразка, тому процес підготовки зразка є відносно складним. Глибина різкості скануючого електронного мікроскопа в сотні разів перевищує глибину різкості металографічного мікроскопа. Однак через обмеження принципу формування зображення поверхня зразка має бути провідною, тому поверхня зразка має бути провідною.
У порівнянні з металографічними мікроскопами, скануючі електронні мікроскопи мають широкий регульований діапазон збільшення, високу роздільну здатність зображення, велику глибину різкості, багаті тривимірні зображення та можуть отримувати більш багату інформацію про зразки. Їх застосування глибше та ширше, ніж металографічні мікроскопи.
