Особливості скануючих зондових мікроскопів
Скануюча зондова мікроскопія є третім мікроскопом для спостереження структури речовини в атомному масштабі після польової іонної мікроскопії та трансмісійної електронної мікроскопії високої роздільної здатності. Для прикладу скануючого тунельного мікроскопа (СТМ) його роздільна здатність по боках становить 0.1~0.2 нм, а роздільна здатність по глибині по вертикалі — 0.01 нм. Така роздільна здатність дозволяє чітко спостерігати окремі атоми або молекули, розподілені на поверхні зразка. У той же час скануючий зондовий мікроскоп також може проводити спостереження в повітрі, інших газах або рідких середовищах.
Скануючі зондові мікроскопи мають характеристики атомної роздільної здатності, атомного транспорту та наномікрообробки. Однак через різні принципи роботи різних скануючих мікроскопів у деталях інформація на поверхні зразка, відображена результатами, отриманими ними, дуже відрізняється. Скануюча тунельна мікроскопія вимірює інформацію про розподіл електронних станцій на поверхні зразка, який має роздільну здатність на атомному рівні, але все ще не може отримати справжню структуру зразка. Атомний мікроскоп виявляє інформацію про взаємодію між атомами, тому можна отримати інформацію про розташування атомів на поверхні зразка, тобто реальну структуру зразка. Але з іншого боку, атомно-силовий мікроскоп не може виміряти інформацію про електронний стан, яку можна порівняти з теорією, тому вони мають свої переваги та недоліки.
