Електронна мікроскопічна система візуалізації
1. Об'єктив і стигматор
Лінза об’єктива є першою лінзою для формування зображення в системі формування зображення. Продуктивність електронного мікроскопа в основному визначається оптичними характеристиками лінзи об'єктива. Будь-які недоліки лінзи об’єктива будуть додатково збільшені іншими лінзами в системі зображення. Тому аберація лінзи об’єктива повинна бути якомога меншою, а збільшення достатньо високим, а об’єктив із сильним збудженням, короткою фокусною відстанню (1.5-3 мм) і діафрагмою об’єктива зазвичай використовується для зменшення сферичної аберації. Оскільки оптична апертура занадто мала, роздільна здатність лінзи об’єктива буде знижена через ефект дифракції, а інтерференція електронного променя буде сильною через ефект забруднення оптичного краю, тому оптична апертура не може бути надто малою .
Стигматизер є важливою частиною для забезпечення покращення роздільної здатності лінзи об’єктива. Він використовує магнітне поле з регульованою силою та орієнтацією для корекції осьового астигматизму, викликаного неосесиметричною лінзою об’єктива.
Зазвичай використовуваний електромагнітний стигматизатор складається з двох груп із чотирьох пар електромагнітів, рівномірно встановлених навколо зазору між полюсними наконечниками. Утворені два еліптичні коригуючі магнітні поля є перпендикулярними одне до одного, і шляхом зміни інтенсивності збудження та напрямку магнітного поля двох наборів електромагнетиків можна сформувати необертально симетричне коригуюче магнітне поле. Якщо його сила дорівнює полю астигматизму лінзи, а напрямки перпендикулярні один одному, це може усунути астигматизм.
2. Проміжне дзеркало та проекційне дзеркало
Проміжне дзеркало являє собою слабомагнітну лінзу з великою фокусною відстанню і змінним збільшенням. Внутрішній отвір полюсного наконечника більший, а збільшення становить від 0-20. Коли збільшення більше 1, воно використовується для збільшення дзеркала об’єктива; коли збільшення менше 1, воно використовується для зменшення дзеркала об’єктива.
Проекційне дзеркало — це сильна магнітна лінза з короткою фокусною відстанню, яка використовує симетричні башмаки з малою апертурою вгору та вниз для отримання великого збільшення. Проекційне дзеркало має певний струм збудження, який відіграє роль збільшення середнього зображення та проектування його на люмінесцентний екран.
3. Триступеневе підсилення
Найбільше збільшення електронного мікроскопа визначається такими факторами, як продуктивність приладу, роздільна здатність фотографічної базової пластини (або флуоресцентного екрана) тощо. Загалом, система зображення із вторинним збільшенням може отримати електронне зображення, збільшене приблизно на 200,000 разів. Об'єктив збільшує деталі зразка в 100 разів і формує зображення на дзеркалі об'єктива, а проміжне дзеркало збільшує зображення об'єктива в 20 разів і відображає його на проекційному дзеркалі; проекційне дзеркало збільшує зображення проміжного дзеркала в 100 разів і формує зображення на люмінесцентному екрані. Регулювання кількості посилених ченців може бути реалізовано шляхом зміни струму збудження середньої вставки. Після зміни струму збудження середнього містечка слід також відповідно змінити струм збудження лінзи об’єктива, щоб гарантувати, що дзеркальна площина лінзи об’єктива змішується з середньою монтажною поверхнею, щоб отримати чітке зображення точка фокусу.
У триступеневій системі візуалізації при зміні струму збудження об'єкта зображення лінзи об'єктива можна зробити під середнім байонетом.
Об’єктне дзеркало – це «віртуальний об’єкт», який формується в маленьке реальне зображення на поверхні об’єкта A проекційного дзеркала. Проекційне дзеркало відображається на флуоресцентному екрані, завдяки чому можна отримати електронне зображення, збільшене в тисячі-десятки тисяч разів. Спотворення зображення, спричинене цим методом, можна зменшити шляхом взаємної компенсації бочкоподібного спотворення проміжного дзеркала та подушкоподібного спотворення проекційного дзеркала.
Якщо лінзу об’єктива закрито, а замість міста об’єкта для зображення використовується проміжне дзеркало, збільшення можна зменшити приблизно до 100-300 плюс, і можна отримати зображення з більшим полем зору.
