Електронний мікроскоп складається з кількох частин
Електронний мікроскоп складається з трьох частин: оправа об'єктива, вакуумний пристрій і блок живлення.
1. Оправа об’єктива в основному включає джерела електронів, електронні лінзи, тримачі зразків, флуоресцентні екрани та детектори. Ці компоненти зазвичай збираються в циліндр зверху вниз.
Електронна лінза використовується для фокусування електронів і є найважливішим компонентом оправи електронного мікроскопа. Як правило, використовуються магнітні лінзи, а іноді також електростатичні лінзи.
2. Вакуумний пристрій використовується для забезпечення стану вакууму в мікроскопі, щоб електрони не поглиналися та не відхилялися на своєму шляху. Він складається з механічного вакуумного насоса, дифузійного насоса та вакуумного клапана та з’єднаний з оправою об’єктива через вихлопну трубу.
3. Силова шафа складається з генератора високої напруги, стабілізатора струму збудження та різноманітних блоків керування регулюванням.
