Застосування конфокальних мікроскопів у напівпровідниковій промисловості
У процесі великомасштабного-виробництва напівпровідників необхідно насадити мікросхеми інтегральних схем на пластину, потім розділити їх на різні блоки, а потім упакувати та спаяти. Тому точний контроль і вимірювання розміру канавки для вирізання пластини є важливою ланкою у виробничому процесі.
Конфокальний мікроскоп — це мікроскопічний пристрій виявлення, випущений компанією Zhongtu Instrument, який широко використовується у виробництві напівпровідників і процесах пакування. Він може виконувати-контактне сканування та реконструювати три-вимірну морфологію елементів поверхні зі складними формами та крутими канавками лазерного різання.
Конфокальний мікроскоп має чудову оптичну роздільну здатність і завдяки системі чіткого зображення він може детально спостерігати за характеристиками поверхні пластини, наприклад, чи є на поверхні пластини такі дефекти, як розрив країв і подряпини. Електрична вежа може автоматично перемикатися між різними збільшеннями об’єктива, а програмне забезпечення автоматично фіксує краї елементів для швидкого дво-вимірювання розміру, таким чином ефективніше виявляючи та контролюючи якість поверхні пластини.
У процесі лазерного різання пластин потрібне точне позиціонування, щоб забезпечити можливість вирізання канавок уздовж правильного контуру на пластині. Якість сегментації пластин зазвичай вимірюється глибиною і шириною канавок. Конфокальний мікроскоп серії VT6000, заснований на конфокальній технології та обладнаний високо-модулями сканування, має професійне програмне забезпечення для аналізу з функціями багатозонного та автоматичного вимірювання. Він може швидко відновити три{5}}вимірний контур лазерної канавки тестованої пластини та виконати багатопрофільний аналіз для отримання інформації про глибину та ширину каналу поперечного-перерізу.
