Аналіз за допомогою оптичної мікроскопії (OM)
Технічні принципи
Принцип створення зображень оптичного мікроскопа полягає у використанні видимого світла для освітлення поверхні досліджуваного зразка з метою локального розсіювання або відбиття з утворенням різних контрастів. Однак, оскільки довжина хвилі видимого світла становить {{0}} ангстремів, роздільна здатність (або швидкість дискримінації, енергія роздільної здатності) системи відноситься до найкоротшої відстані, на якій можна розрізнити дві точки), це природно найгірше. За нормальної роботи, оскільки коефіцієнт розрізнення неозброєним оком становить лише 0,2 мм, коли оптимальна роздільна здатність оптичного мікроскопа становить лише 0,2 мкм, теоретичне максимальне збільшення становить лише 1000. Це найбільша система зображення, який показує, що спостереження за допомогою оптичних мікроскопів насправді все ще можуть надати багато попередньої структурної інформації.
Тип машини
Аналітичні програми
Хоча збільшення та роздільна здатність оптичних мікроскопів не можуть задовольнити потреби спостереження поверхні багатьох матеріалів, вони все ще широко використовуються в таких сферах застосування, як:
Спостереження за структурою поперечного перерізу компонента;
Аналіз та спостереження планарної розкладеної структури;
Спостереження за зоною, вільною від опадів;
Спостереження за поганим вирівнюванням і витравлюванням (Overetch) вм'ятин;
Дослідження дефектів укладання, посилених окисленням (OSF) тощо.
Яке максимальне збільшення оптичного мікроскопа?
Збільшення оптичного мікроскопа в основному покладається на лінзу об’єктива для фактичного збільшення об’єкта, а окуляр – для додаткового збільшення зображення, збільшеного лінзою об’єктива. Лінза об’єктива оптичного мікроскопа може повертатися лише до 100 разів, а окуляр – до 10 разів.
16 разів
Максимальний окуляр 20x. Тому, коли лінза об’єктива становить 100 разів, а окуляр — 20 разів, загальне збільшення може досягати 2000 разів. Але 2000 разів — це лише числові 2000 разів, а не справжнє збільшення у 2000 разів. Наприклад, коли окуляр становить 10x, лінза об’єктива становить 100x, а загальне збільшення становить 1000x, оскільки фактичне збільшення лінзи об’єктива все ще становить 100x, але окуляр змінено з 10x на 20x. Переглядає 2000 разів
1000 разів, різниця в два рази, але насправді це різниця лише в 10 разів.
